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半導(dǎo)體制造工藝和流程

半導(dǎo)體制造工藝和流程
1.晶圓制造
晶圓制造主要是在晶圓上制作電路與鑲嵌電子元件（如電晶體、電容、邏輯閘等），是所需技術(shù)最

半導(dǎo)體制造工藝和流程
1.晶圓制造
晶圓制造主要是在晶圓上制作電路與鑲嵌電子元件（如電晶體、電容、邏輯閘等），是所需技術(shù)最復(fù)雜且資金投入最多的過程。以微處理器為例，其所需處理步驟可達數(shù)百道，而且所需加工機器先進且昂貴。雖然詳細的處理程序是隨著產(chǎn)品種類和使用技術(shù)的變化而不斷變化，但其基本處理步驟通常是晶圓先經(jīng)過適當(dāng)?shù)那逑粗�，接著進行氧化及沉積處理，最后進行微影、蝕刻及離子植入等反復(fù)步驟，最終完成晶圓上電路的加工與制作。
2.晶圓測試
晶圓經(jīng)過劃片工藝后，表面上會形成一道一道小格，每個小格就是一個晶片或晶粒（Die），即一個獨立的集成電路。在一般情況下，一個晶圓上制作的晶片具有相同的規(guī)格，但是也有可能在同一個晶圓上制作規(guī)格等級不同的晶片。晶圓測試要完成兩個工作：一是對每一個晶片進行驗收測試，通過針測儀器（Probe）檢測每個晶片是否合格，不合格的晶片會被標上記號，以便在切割晶圓的時候?qū)⒉缓细窬Y選出來；二是對每個晶片進行電氣特性（如功率等）檢測和分組，并作相應(yīng)的區(qū)分標記。
3.芯片封裝
首先，將切割好的晶片用膠水貼裝到框架襯墊（Substrate）上；其次，利用超細的金屬導(dǎo)線或者導(dǎo)電性樹脂將晶片的接合焊盤連接到框架襯墊的引腳，使晶片與外部電路相連，構(gòu)成特定規(guī)格的集成電路芯片（Bin）；最后對獨立的芯片用塑料外殼加以封裝保護，以保護芯片元件免受外力損壞。塑封之后，還要進行一系列操作，如后固化（Post Mold Cure）、切筋（Trim）、成型（Form）和電鍍（Plating）等工藝。
4.芯片測試
封裝好的芯片成功經(jīng)過烤機（Burn In）后需要進行深度測試，測試包括初始測試（Initial Test）和最后測試（Final Test）。初始測試就是把封裝好的芯片放在各種環(huán)境下測試其電氣特性（如運行速度、功耗、頻率等），挑選出失效的芯片，把正常工作的芯片按照電氣特性分為不同的級別。最后測試是對初始測試后的芯片進行級別之間的轉(zhuǎn)換等操作。
5.成品入庫
測試好的芯片經(jīng)過半成品倉庫后進入最后的終加工，包括激光印字、出廠質(zhì)檢、成品封裝等，最后入庫。

以上為半導(dǎo)生產(chǎn)工藝基本流程，如需了解更多請點擊以下鏈接：
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 半導(dǎo)體封裝的典型封裝工藝簡介
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半導(dǎo)體制造工藝和流程
常見的芯片電學(xué)互連的三種方式
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